书目详细信息
： SOI——纳米技术时代的高端硅基材料
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-312-02233-3:CNY88.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi eng |
| 出版国别： | CN 340000 |
| 题名责任者项： | SOI——纳米技术时代的高端硅基材料/.林成鲁编著 |
| 出版发行项： | 合肥:,中国科学技术大学出版社:,2009 |
| 载体形态项： | 468页:;+24cm |
| 丛编项： | 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书 |
| 一般附注： | 中国科学技术大学校友文库 |
| 提要文摘： | 本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇。内容涉及SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展；SOI新材料的制备科学；SOI材料与器件特有的物理效应；绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学等。 |
| 并列题名： | Soi：advanced silicon-based materials for the nanotechnology era eng |
| 题名主题： | 硅 纳米材料 |
| 题名主题： | 硅 |
| 题名主题： | 纳米材料 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 林成鲁 编著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20130904 |