书目详细信息
： 基于MEMS技术的热梯度器件研究
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5170-7299-7:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 基于MEMS技术的热梯度器件研究/.聂金泉著 |
| 出版发行项： | 北京:,中国水利水电出版社:,2019 |
| 载体形态项： | 192页:;+图:;+24cm |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Research on thermal gradient devices based on MEMS technology |
| 提要文摘： | 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元, 采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。采用MEMS微加工技术加工和制作微流控系统的微加热芯片和玻璃-PDMS微通道芯片，开发了工艺流程，分析了关键工艺步骤，通过微加热芯片的引线键合，完成了微流控系统的构建。 |
| 并列题名： | Research on thermal gradient devices based on MEMS technology eng |
| 题名主题： | 微型组件 机电系统 研究 |
| 非控主题词： | 微机电系统 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 个人名称等同： | 聂金泉 著 |
| 记录来源： | CN 91MARC 20190508 |